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我司主營(yíng)AMAT TEL LAM  MKS SMC VAT等品牌半導(dǎo)體設(shè)備，零件。

由于FAB設(shè)備的部件型號(hào)比較多，不能一 一列舉，如果有其它型號(hào)的零部件需要，請(qǐng)隨時(shí)聯(lián)系我們。

聯(lián)系電話:021-6838 8387

我司上海九展自動(dòng)化技術(shù)有限公司致力于為國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體制造企業(yè)提供快速高效的設(shè)備，部件，耗材和維修服務(wù)。

我們跟國(guó)內(nèi)外多家設(shè)備制造商，經(jīng)銷商，零部件貿(mào)易商，晶圓廠，高校，研究所有長(zhǎng)期的接觸和聯(lián)系，我們有能力保證品質(zhì)并提供有競(jìng)爭(zhēng)力的價(jià)格。

應(yīng)用材料公司的CMOS和MtM領(lǐng)域的應(yīng)用推動(dòng)了對(duì)先進(jìn)的150mm和200mm CVD技術(shù)的需求。超厚氧化物（≥20μm）;低溫處理（<200°C）;保形、低濕蝕刻率薄膜;需要具有可調(diào)折射率的摻雜薄膜來(lái)滿足這些器件技術(shù)的制造要求。這些薄膜加入了 Centura DXZ CVD 系統(tǒng)上可用的**工藝組合，從 TEOS、硅烷基氧化物和氮化物到低 k 電介質(zhì)、應(yīng)變工程和光刻薄膜。
DXZ CVD 系統(tǒng)配備了增強(qiáng)的功能，可可靠、仔細(xì)地處理各種 MtM 襯底（包括 SiC 晶圓），從負(fù)載鎖定晶圓映射到清晰的晶圓方向再到晶圓放置。

Centura DXZ 系統(tǒng)設(shè)計(jì)在成本（例如，零耗材的工藝套件）、吞吐量、易于維護(hù)和可靠性方面提供了顯著改進(jìn)。該系統(tǒng)采用單晶圓、多腔室架構(gòu)，可提供高達(dá) 80wph 的 TEOS 和 SiC 吞吐量（3,000? PE TEOS 和等離子硅烷）和高達(dá) 35wph 的 USG 吞吐量（2000? SACVD USG）。對(duì)稱設(shè)計(jì)和小腔室容積促進(jìn)了沉積和清潔化學(xué)品的高效氣體利用，有助于降低總體擁有成本。A

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