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在半導(dǎo)體裝置等中、適合用作負(fù)載鎖定室和搬送室以及搬送室和過程處理室之間的隔斷閥

使用流體：惰性氣體類的真空

長壽命：300萬次（常溫時）
?發(fā)塵量：減少至1/5以下（與以前型號相比）
?維護(hù)性提高
 波紋管更換更容易
 可通過頂部拆裝們（訂制規(guī)格）
?安全對策
 采用機(jī)械式端鎖機(jī)構(gòu)

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