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在半導體裝置等中、適合用作負載鎖定室和搬送室以及搬送室和過程處理室之間的隔斷閥產(chǎn)品詳情SMC門閥縫閥XGT300-30-1A-X1
在半導體裝置等中、適合用作負載鎖定室和搬送室以及搬送室和過程處理室之間的隔斷閥
使用流體：惰性氣體類的真空
長壽命：300萬次（常溫時）
?發(fā)塵量：減少至1/5以下（與以前型號相比）
?維護性提高
波紋管更換更容易
可通過頂部拆裝們（訂制規(guī)格）
?安全對策
采用機械式端鎖機構SMC門閥縫閥XGT300-30-1A-X1
產(chǎn)品詳情SMC門閥縫閥XGT300-30-1A-X1
在半導體裝置等中、適合用作負載鎖定室和搬送室以及搬送室和過程處理室之間的隔斷閥
使用流體：惰性氣體類的真空
長壽命：300萬次（常溫時）
?發(fā)塵量：減少至1/5以下（與以前型號相比）
?維護性提高
波紋管更換更容易
可通過頂部拆裝們（訂制規(guī)格）
?安全對策
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