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歡迎來(lái)到上海九展自動(dòng)化技術(shù)有限公司官網(wǎng)

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在半導(dǎo)體裝置等中、適合用作負(fù)載鎖定室和搬送室以及搬送室和過(guò)程處理室之間的隔斷閥
產(chǎn)品詳情

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在半導(dǎo)體裝置等中、適合用作負(fù)載鎖定室和搬送室以及搬送室和過(guò)程處理室之間的隔斷閥

使用流體:惰性氣體類的真空

長(zhǎng)壽命:300萬(wàn)次(常溫時(shí))
?發(fā)塵量:減少至1/5以下(與以前型號(hào)相比)
?維護(hù)性提高
 波紋管更換更容易
 可通過(guò)頂部拆裝們(訂制規(guī)格)
?安全對(duì)策
 采用機(jī)械式端鎖機(jī)構(gòu)

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使用流體:惰性氣體類的真空

長(zhǎng)壽命:300萬(wàn)次(常溫時(shí))
?發(fā)塵量:減少至1/5以下(與以前型號(hào)相比)
?維護(hù)性提高
 波紋管更換更容易
 可通過(guò)頂部拆裝們(訂制規(guī)格)
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