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高頻發(fā)生器（radioffequency generator）又稱射頻發(fā)生器。電感耦合等離子體原子發(fā)射光譜/質(zhì)譜等分析中用來產(chǎn)生等離子體炬的裝置。它產(chǎn)生的高頻電流輸給電感線圈，以激勵石英炬管（置于線圈中）內(nèi)的氬氣，形成等離子體焰炬。分自激式和他激式（晶控型）振蕩器兩種類型。振蕩頻率在3～50MHz，常為27.12MHz和40.68MHz，輸出功率在0.7～7kW，常用為1.0～2.0kW。

等離子發(fā)生器產(chǎn)生所需的射頻（RF）功率，以在等離子體室和類似設備中創(chuàng)建和維護等離子體。產(chǎn)生的等離子體可用于多種應用，包括集成電路 （IC） 或工業(yè)制造，用于薄膜沉積、表面清潔和表面改性。

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