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我司主營(yíng)AMAT TEL LAM  MKS SMC VAT AE 等品牌半導(dǎo)體設(shè)備，零件。

由于FAB設(shè)備的部件型號(hào)比較多，不能一 一列舉，如果有其它型號(hào)的零部件需要，請(qǐng)隨時(shí)聯(lián)系我們。

聯(lián)系電話:021-6838 8387

我司上海九展自動(dòng)化技術(shù)有限公司致力于為國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體制造企業(yè)提供快速高效的設(shè)備，部件，耗材和維修服務(wù)。

我們跟國(guó)內(nèi)外多家設(shè)備制造商，經(jīng)銷商，零部件貿(mào)易商，晶圓廠，高校，研究所有長(zhǎng)期的接觸和聯(lián)系，我們有能力保證品質(zhì)并提供有競(jìng)爭(zhēng)力的價(jià)格。

ASM為**的半導(dǎo)體制造商提供晶圓加工設(shè)備，主要用于薄膜的沉積。我們?cè)O(shè)計(jì)、制造、銷售和服務(wù)沉積工具，為客戶提供生產(chǎn)半導(dǎo)體器件或集成電路 （IC） 的先進(jìn)技術(shù).
ASM的設(shè)備是制造消費(fèi)者和企業(yè)隨處可見(jiàn)的電子產(chǎn)品所需的半導(dǎo)體集成電路芯片的關(guān)鍵技術(shù)。我們的產(chǎn)品解決了半導(dǎo)體行業(yè)技術(shù)路線圖上的重要問(wèn)題。幫助使集成電路（或芯片）更小、更快、更強(qiáng)大。

 EmerALD反應(yīng)器室采用噴頭工藝氣體分配方法，以確保均勻地將氣體輸送到晶圓表面。EmerALD 還具有遠(yuǎn)程等離子室清潔功能，對(duì)于許多工藝，可以選擇在腔室清潔之間保持更長(zhǎng)時(shí)間的腔室性能，從而延長(zhǎng)正常運(yùn)行時(shí)間。
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XP集群平臺(tái)*多可以配置四個(gè)EmerALD工藝模塊，該平臺(tái)是ASM的XP通用平臺(tái)系列的成員。 

Emerald XP ALD 的優(yōu)勢(shì)
淋浴噴頭設(shè)計(jì)，反應(yīng)物濃度均勻，在各種形貌上提供出色的薄膜性能; 
淋浴噴頭和晶圓室體積小，針對(duì) ALD 進(jìn)行了優(yōu)化，以提高吞吐量; 
直接和遠(yuǎn)程等離子體，提供擴(kuò)展的過(guò)程控制能力; 
原位腔室清潔，可延長(zhǎng)正常運(yùn)行時(shí)間。 
主要應(yīng)用
金屬柵極層
低溫氧化物
電容器電極 
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