国产精品怕怕怕在线观看_欧美日韩手机在线精品一区_亚洲无码中文字幕在线_京东影业扣扣传媒_国产精品二区四区_成人性生交大片免费看_日本一道本在线视频_最近免费中文字幕mv在线视频6_亚洲国产综合av剧情_激情综合网五月天色播五月天

AMAT 0010-03338 WxZ 8 200mm Wafer Heater

我司主營AMAT TEL LAM  MKS SMC VAT等品牌半導(dǎo)體設(shè)備，零件。

由于FAB設(shè)備的部件型號比較多，不能一 一列舉，如果有其它型號的零部件需要，請隨時聯(lián)系我們。

聯(lián)系電話:021-6838 8387

我司上海九展自動化技術(shù)有限公司致力于為國內(nèi)半導(dǎo)體制造企業(yè)提供快速高效的設(shè)備，部件，耗材和維修服務(wù)。

我們跟國內(nèi)外多家設(shè)備制造商，經(jīng)銷商，零部件貿(mào)易商，晶圓廠，高校，研究所有長期的接觸和聯(lián)系，我們有能力保證品質(zhì)并提供有競爭力的價格。

    靜電卡盤，是一種適用于大氣或真空環(huán)境的超潔凈薄片承載體、抓取搬運設(shè)備的總稱。
    靜電卡盤系統(tǒng)由靜電吸附控制器、靜電吸附單元及組成。靜電吸附主機具有漏電保護、電流過載保護及高壓脈沖保護；靜電吸附單元電極采用高頻導(dǎo)體，表面一種采用氮化鋁陶瓷覆膜，另外一種采用聚酰亞胺薄膜覆膜，在保證輸出穩(wěn)定，同時避免高壓靜電壓尖銳擊穿。
AMAT 0010-03338 WxZ 8 200mm Wafer Heater

      在半導(dǎo)體制造行業(yè)中，卡盤是一種常見的夾緊裝置，用于固定工件以便進行加工、測量、裝配等操作（就是固定住晶圓，不讓它亂動）。卡盤是晶圓制造過程中，保證精度與良率的重要零部件。   
      根據(jù)其工作原理、結(jié)構(gòu)形式、夾緊方式等方面的不同，常見的卡盤可以分為：機械卡盤、真空卡盤、靜電卡盤等。其中靜電卡盤（簡稱：ESC或E－Chuck）由于其對工件損傷小、精度高等特點，被**運用于半導(dǎo)體制造工藝等需要精密加工的場景。
靜電卡盤主要有以下三大優(yōu)勢：
    吸附力均勻：靜電卡盤由于吸附作用均勻分布在晶圓表面，可以保證晶圓具有較好的平整度，從而具有更好的加工精度。
    污染?。簷C械卡盤與真空卡盤在工作中容易受到微小顆粒的污染，導(dǎo)致晶圓變形或表面劃傷。靜電卡盤對晶圓的污染較小，因此可保證晶圓加工過程中具有較高的良率。
    適用于真空環(huán)境：真空環(huán)境下，真空卡盤無法對晶圓實現(xiàn)吸附。靜電卡盤由于利用靜電力進行吸附，因此在真空環(huán)境下依然可以保證較好的吸附性能。（半導(dǎo)體制造工藝中離子注入、化學(xué)氣相沉積（CVD）等環(huán)節(jié)需要在真空環(huán)境下進行。）

靜電吸盤使用特點
    能在大氣和真空環(huán)境下同時使用；能吸附導(dǎo)體、半導(dǎo)體、絕緣體及多孔材料；精簡夾持搬運機構(gòu)，靜電吸附能耗低；吸附力均勻，吸附時不會出現(xiàn)局部受力；對大面積薄片工件輕軟支撐，吸附時不會產(chǎn)生傷痕和皺紋；能夠快速開啟和關(guān)閉，對象物體背面不產(chǎn)生電位，不吸附周圍的灰塵。

0021-21874
0010-70270
0010-02342
0040-53558
0010-03346
0010-27431
0010-70252
0010-78912
0500-00224
0041-34310
0190-47420
0190-46994
0190-46595
0040-07033
0010-29128
0040-20511
0010-76149
0010-16986
0010-11491
0020-20123
0010-52219
0010-78123
0040-02149
0190-46995
0190-47419
0192-47476
0190-46597
0020-61186
0010-76727
0190-12126
0200-35527
0010-01320
0190-01403
0010-45357
0041-75024
3540-01082
0010-13625
0040-88097
0010-04450
0021-03095
0010-12282
0040-75909
0010-05254
0010-16858
0010-04542
0021-07418
0140-18033
0190-46996
0150-76849
0190-47475
0190-46598
0246-14658
0200-09158
0500-01083
0010-15374
0190-00382
0040-32712
0100-93152
0020-20896
0010-30421
0040-23891
0190-47182
0020-20653
0150-10694
0020-25304
0040-32149
0010-03843
0200-02398
0010-25154
0040-01239
0150-09265
0040-78768
0020-23350
0100-03012
0150-25547
0010-47551
0200-10153
0010-32021
0200-09716
0100-01714
0020-20125
0010-53085
0010-03244
0020-24141
0040-53618
0040-20726
0010-21356
0010-01456
0040-36180
0010-03344
0020-25622
0040-61254
0200-10284
0190-76273
0010-16576
0010-34855
0020-25614
0040-20850
0010-37788
0010-93152
0090-00417
0240-76246
0020-83945
0020-34111
107-0501
0200-00318
106-0101
0010-26727
324-0203
0010-03338
303-0201
0040-53718
0040-03024
0270-01156
0010-17454
0010-30418
0020-12397
0040-38981
0021-08144
0190-01485
0040-64069
0200-01798
1410-00002
0040-44822
0040-33914
839-274673
0040-20727
0100-00055
0270-20296
0021-82396
1410-01415
0040-53142
0020-34427
0040-31996
0240-71236
0010-27432
0190-46997
0010-03437
0041-43070
0010-03370
0010-03323
0010-03372
145-0401
0040-42963
0040-23565
0190-02557
0200-00179
0020-75904
0010-20155
318-0302
0010-41878
0040-20856
0010-12860
0010-03324
324-0202
347-0203
0020-24124
0010-62632
0040-70477
0010-20943
0195-08504
0150-10542
3420-01062
0040-99581
0190-05887
0190-41535
0022-17399
0270-76133
0150-97531
129-0101
1410-01020
0270-02710
0021-36689
0021-11110
0040-02848
0021-91754
0041-76691
0240-28181
0021-23836
342-0401
0150-10924
142-0101
0020-01114
0090-00980
0242-38486
0140-83599
0200-00312
0242-33626
0020-17121
0020-20101
0021-39650
0040-42619
0010-44899
0010-64291
0022-17329
0040-07505
0150-09228
0020-12396
0140-03331
0150-02386
0021-06876
0200-09074
0010-08480
0010-51766
0041-07625
0040-33655
1410-00029
0090-35086
0010-05024
0021-04419
0040-40864
0242-17788
0190-01044
1410-01012
0242-11543
0040-40815
0150-21033
0015-00853
0150-21024
0021-21504
0010-25416
0100-09094
57-60015
0021-39059
0021-07874
0150-21026
0150-21028
0090-39207
0190-05890
0150-21030
0190-13124
0200-11342
0010-59799
0270-76140
1410-00261
0190-05888
0040-70466
0040-06126
0090-00979
0040-91179
0140-02044
1410-01321
0140-09513
0020-23349
0010-04449
0010-12516
0150-36591
9620-1316
0010-21246
0010-36631
0150-00179
0010-46436
0190-02555
0010-36417
0190-35522
0190-13287
0190-35578
0040-09918
0010-05256
0010-70254
0010-24456
0041-04851
0190-13888
0190-25970
0190-35875
0190-09764
0190-36078
1410-00643
0190-15703
0190-01043
0150-16437
0140-36231
0190-02556
0190-02987
0150-97563
0140-00716
0200-36534
0150-37288
0150-05181
0620-01280
0150-22041
0150-36751
0040-45764
0150-36306
0200-01613
0010-30690
0021-18193
0010-30432
0226-00157
0021-22224
0150-21766
0010-30419
0200-11419
0010-03347
0040-40865
0021-23272
0200-09933
0150-10226
0040-39678
0040-20505
0021-03094
0190-35124
0010-30111
0010-03339
1410-01444
0150-03156
0150-03931
0220-11853
0010-03341
0190-35243
0010-11908
0041-10632
0200-36661
0040-32148
3930-01071
0040-36095
0200-35789
0020-06079
0021-06796
0020-29732
0150-04585
0020-95294
0040-06242
1410-01315
0090-01457
1410-00796
0020-25745
0020-26900
1410-01155
1410-01153
0190-06212
0020-66634
0040-02917
0190-13654
3870-07100
1410-01465
0035-18000
0150-36749
0025-97961
0040-03867
0040-13658
0020-94861
0190-40096
0190-15888
0250-09184
0140-70156
0020-31694
0190-40175
0040-34816
0020-61187
0200-09413
1410-90015
1410-01294
0020-26899
0200-35624
0200-35784
0190-35634
0040-91728
0020-42137
1410-01467
1410-00028
0090-01880
1183-2
0021-04679
0190-32766
1410-01595
0190-40182
0020-42076
1410-01594
0190-09490
0090-35164
344-0502
0140-06842
0195-02654
1410-00027
0150-09819
0020-42122
0020-42320
0050-70647
0200-00178
1410-01570
0150-38910
1410-01585
0020-24091
0020-42130
0270-20055
0020-24139
0200-35581
0100-09180
0040-36031
0140-09483
0020-42331
0140-05398
0020-24090
1410-01345
0140-09331
0010-09125
0015-20060
0020-25624
0150-09351
0090-02128
0150-10689
0090-02127
1410-01581
0010-58871
0020-42330
0040-40863
0140-03273
0021-36008
1410-01506
1410-01459
0020-21193
0190-15892
0020-03434
0021-06772
0021-37408
0100-00085
0150-13063
0050-76335
1410-01353
0140-00060
1410-00031
0150-09568
0150-36750
1410-00016
0150-36954
0040-03567
1080-00195
0020-42236
0150-45859
0150-10150
0150-10139
0270-20056
1410-01023
0190-15890
0021-04686
0021-06795
0150-10151
0010-03342
1410-01142
1410-01567
0150-11305
1410-01576
0021-36646
0021-21861
0021-21791
1410-01054
0050-25584
0150-21153
0150-04583
0150-10224
0150-70132
0021-26968
0021-18225
0021-18226
0150-00799
0227-99578
0050-76233
0020-42026
0150-38895
1410-00012
0150-02494
0150-38555
0021-08627
0150-10259
0190-15891
0021-79672
0150-36595
0150-02723
0140-03079
1410-01440
0140-00326
0150-06640
0045-00071
0150-36592
0150-03155
0150-02738
0150-10923
0041-45761
0010-45249
0195-00217
0195-00218
0190-33740
0190-49035
0190-45504
0150-09373
0015-06024
0150-19537
0140-63868
0042-13115
0090-05831
0010-27983
0010-24057
0010-15431
0040-51612
0010-24970
0190-09560
0010-66515
0090-08050
0010-51313
0010-15417
0042-49445
0041-30915
0041-99947
0200-21400
0020-17311
0010-06825
81105-01
0200-21404
0090-00828
0010-37969
1410-01331
0041-33265
0022-25812
0040-77616
0021-20369
0242-51671
0190-26374
0010-67052
0140-01502
0150-02830
0035-00371
1410-01516

AMAT 0010-03338 WxZ 8 200mm Wafer Heater