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我司主營AMAT TEL LAM  MKS SMC VAT等品牌半導(dǎo)體設(shè)備，零件。

由于FAB設(shè)備的部件型號比較多，不能一 一列舉，如果有其它型號的零部件需要，請隨時聯(lián)系我們。

聯(lián)系電話:021-6838 8387

我司上海九展自動化技術(shù)有限公司致力于為國內(nèi)半導(dǎo)體制造企業(yè)提供快速高效的設(shè)備，部件，耗材和維修服務(wù)。

我們跟國內(nèi)外多家設(shè)備制造商，經(jīng)銷商，零部件貿(mào)易商，晶圓廠，高校，研究所有長期的接觸和聯(lián)系，我們有能力保證品質(zhì)并提供有競爭力的價格。

半導(dǎo)體的規(guī)模繼續(xù)穩(wěn)步增長到個位數(shù)節(jié)點，對芯片制造的精度和均勻性提出了越來越苛刻的要求。在早期的節(jié)點上，當(dāng)特征較大時，可以在不影響器件性能的情況下適應(yīng)蝕刻深度、線或空間寬度或輪廓角度的更大范圍的變化。同樣，偶爾殘留在特征表面上的顆粒也不會危及器件的可靠性。然而，在當(dāng)今的先進節(jié)點上，蝕刻深度、線或空間寬度或輪廓角度的*微小差異都可能是致命的缺陷。無缺陷的表面也同樣重要。
利用非常成功的 Centris Sym3 產(chǎn)品設(shè)計，并將其改進為前沿存儲器和代工邏輯節(jié)點的關(guān)鍵導(dǎo)體蝕刻和 EUVL 圖案化應(yīng)用，高度通用的 Centris Sym3 Y 現(xiàn)在是應(yīng)用材料公司***的蝕刻系統(tǒng)。高電導(dǎo)腔室結(jié)構(gòu)與創(chuàng)新的脈沖射頻源技術(shù)相結(jié)合，通過快速有效地排出每次晶圓通過時可能積累的蝕刻副產(chǎn)物，實現(xiàn)了出色的蝕刻輪廓控制。

極高的蝕刻選擇性允許在單個腔室中連續(xù)蝕刻多層不同材料，以及創(chuàng)建密集封裝、高縱橫比結(jié)構(gòu)（包括 FinFET 和新興的全柵極晶體管）所需的出色深度和輪廓控制。通過新的專有涂層減少制造缺陷并提高晶圓良率，該涂層可在蝕刻過程中保護關(guān)鍵的腔室組件。使用新型靜電卡盤可減少晶圓上的晶粒間差異，并通過主動邊緣控制提高晶圓良率的極邊緣。

Sym3 Y 系統(tǒng)由多個蝕刻室和等離子清洗晶圓加工室組成，這些室具有系統(tǒng)智能軟件，可確保每個腔室中的每個過程都精確匹配，從而為大批量生產(chǎn)提供可重復(fù)性和高生產(chǎn)率。
憑借****的工藝均勻性和缺陷控制，Sym3 Y 系統(tǒng)為客戶提供了塑造和圖案化材料的新方法，實現(xiàn)了新的 3D 結(jié)構(gòu)和繼續(xù) 2D 收縮的新方法，即使芯片特征變得更緊密、更小、縱橫比更大、材料在先進節(jié)點上更復(fù)雜。

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