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英特格Entegris12寸 FOUP晶圓盒F300

前開式統(tǒng)一吊艙平臺具有**的微環(huán)境控制，可提供清潔安全的 300 mm 晶圓運輸。

經過行業(yè)驗證的門提供設備互操作性和長使用壽命
集成的晶圓支架提供出色的晶圓平面性能和可靠的晶圓訪問
ESD 外殼選項提供額外的晶圓保護
提供高級吹掃選項，包括前/后吹掃和吹掃擴散器，可提供**的氣體分散
優(yōu)化的疏水材料提供晶圓接觸和微環(huán)境控制
英特格Entegris12寸 FOUP晶圓盒F300
結構材料
用于FOUP外殼、門殼和門板的超純聚碳酸酯或阻隔材料
碳填充PEEK或高溫阻隔材料（XT EBM），用于外殼、門殼和門組件的晶圓接觸區(qū)域
用于關鍵門密封的熱塑性彈性體材料
恩泰格里斯防潮材料（EBM）可用于實現**的晶圓加工技術
配置選項和附件
外殼和門顏色選項

琥珀色、紅色、綠色、透明和黑色（** ESD 外殼）
**選項

前/后標準吹掃
后置先進擴散器
隔離選項

信息板可由客戶配置
識別選項

條形碼和字母數字字符標簽
彩色手柄插件
持 卡 人
具有讀/寫功能的RFID標簽

英特格Entegris12寸 FOUP晶圓盒F300