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SMC thermo-con Chiller溫控器HEC006-W2A-FNL

     SMC Chiller冷水機適用于多道半導體制造工序（蝕刻裝置，選擇裝置，清洗裝置，涂膠裝置，切割裝置，試驗機），   電子顯微鏡等。
    上海九展自動化技術有限公司提供半導體制程的CVD，PVD， ETCH，Metrology,Thinfilm, CMP ，BG,刻蝕,離子注入ION IMPLANT,清洗,光刻等工序設備的冷水機的銷售，維修，和備件。以及二手Chilller銷售。
       我們是一家擁有多年經驗的公司，在高科技應用領域為CHILLER和熱交換器提供服務。我們的專業(yè)技術人員竭盡所能延長您的系統(tǒng)壽命和所連接設備的正常運行時間。
    有的機型我們提供備用機和眾多的備件。
    我們的團隊利用與世界各地領先的半導體設備生產商,貿易商，設備回收商,半導體代工廠，研究所和大學之間的眾多的網絡關系，以有效地了解設備與銷售的需求以及資產所在的位置。
    我們提供冷水機CHILLLER維修和銷售的品牌包括Neslab、SMC、DISCO、TEL 、Edwards、Lam、AMAT、         ThermoFisher、Daikin和產品。
       我們在上海設有服務中心。
      我們可以提供對冷水機的免費診斷，或合理費用的現(xiàn)場診斷。
      如有任何問題，請隨時聯(lián)系我們。

HEC系列用于高精度溫控。采用珀耳帖元件的無氟高精度溫控器。
構造簡單、可靠性高。
體積小、低振動，便于組裝到裝置內部。
適合多種電源電壓。
符合UL規(guī)格、CE標識。

系列  設定溫度范圍      冷卻能力         溫度穩(wěn)定性              冷卻方式      循環(huán)液
HEC： 10～60℃， 230W、600W， ±0.01～0.03℃， 珀耳帖式風冷， 清水
HEC： 10～60℃， 140W、320W， ±0.01～0.03℃， 珀耳帖式水冷， 清水、乙二醇水溶液（20％）
HEC： 10～60℃， 600W、1200W， ±0.01～0.03℃， 珀耳帖式水冷， 清水、氟化液

SMC thermo-con Chiller溫控器HEC006-W2A-FNL
HEC002-A5A
HEC002-A5B
HEC006-A5A
HEC006-A5B
HEC001-W5A
HEC001-W5B
HEC003-W5A
HEC003-W5B

SMC thermo-con Chiller溫控器HEC006-W2A-FNL